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紫外激光器
相干公司推出用于微电子制造最高功率紫外激光器
材料来源:相干           录入时间:2013/3/4 21:50:15

相干公司最新的AVIATM微加工激光器可以在其工作波长和频率下输出目前工业用激光器可得到的最高功率。AVIA 355-33可输出335 nm(110 kHz),33瓦的激光光束。高功率可以直接有效的提高生产效率,从而降低了成本。

  AVIA系列激光器在微电子制造应用中有最长时间的高可靠性,24/7连续工作的可查记录,并有很多具体的设计来加强加工能力,减少客户的长期成本费用。ThermEQTM,PulseEQTM可以精细的操控输出脉冲能量,从而OEM可以定义和最优化激光加工过程。激光器本身配备全自动化谐波晶体转换器来保持>20,000小时持续稳定的输出功率,延长使用寿命。此外,激光器独特的PosilockTM光束位置传感器和反馈保证了激光器在工作寿命内光束位置的高稳定性,从而确保了加工的一致性和稳定性。

  AVIA 355-33可以广泛应用于高通量微电子加工制造行业。典型的应用包括印制电路板和倒装片的钻孔,包含低k值电介质材料硅晶片的切割和划线。


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