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Manz LAS 2400激光开孔技术实现低成本硅片安全处理
材料来源:lfwc           录入时间:2014/7/14 10:25:38

作者:Greta

 

图:Manz集团首席执行官兼创始人Dieter Manz先生

 

为满足全球市场对高效率、低成本太阳能电池激增的需求,Manz亚智科技在第八届上海国际太阳能光伏展(SNEC2014)期间推出了转换率高达20.5%的晶硅太阳能电池生产解决方案,成功优化了晶硅太阳能电池的生产技术。

 

Manz新一代生产工艺采用VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式真空镀膜系统,在电池背面沉积氧化铝钝化层,结合Manz LAS 2400激光开孔技术,可帮助电池生产企业在实现高效晶硅太阳能电池规模化生产的同时,将成本降至最低。与市场同类系统相比,Manz易于维护的全自动化设备体积更小、效率更高,适用于单晶硅和多晶硅太阳能电池生产。Manz可为客户提供必要的生产设备和工艺技术,帮助其升级标准电池生产线,生产更高效的PERC电池。

 

Manz VCS 1200系统采用全新的垂直式工艺技术,产量高达每小时1,200个硅片。由于配备高效能电浆和新式载具系统,该镀膜工艺不会在硅片上留下任何针印或未镀区,这一技术优势正是其他许多同类厂商的所不具备的。此外,VCS 1200系统使得PECVD层可以实现单面沉积,而不会出现另一面也有边缘沉积的情况。

 

VCS 1200系统一起推出的还有Manz LAS 2400激光开孔系统。该系统可用于背面钝化层的局部电极开孔,是一款操作简单、高精度、高产出的解决方案。Manz激光开孔技术为一站式工艺,不仅在这一电池生产流程保证了最低拥有成本,还实现了硅片的安全处理,将破片率降至业界最低。LAS 2400系统采用模块化、小体积设计,非常适宜现有生产线的升级。该系统每小时总产量为2,400个硅片,开孔宽度为30~100µmManz晶硅太阳能电池生产解决方案结合了VCS1200LAS2400的所有优势,能将PERC太阳能电池的效率提升至20.5%

 

此外,Manz还提供了业界领先的湿化学处理工具IPSG CEI 4800,可与VCS 1200LAS 2400生产工具配备形成一套完善的技术解决方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及边缘的重掺杂层,从而形成化学除边(CEI)。并在接下来的流程中,去除在之前扩散过程中残留在硅片正面的磷硅玻璃(PSG)层。由于应用了柔软的海绵辊和最小化基板压力的概念,IPSG CEI 4800可实现最低破片率。

 

在新闻发布会上,Manz 集团首席执行官兼创始人Dieter Manz表示:“在光伏产业,Manz专注于晶硅太阳能电池和薄膜太阳能模块的生产工艺和解决方案。在晶硅领域,Manz可提供金属化、激光加工、湿化学处理以及真空镀膜相关的生产工艺和设备,同时还可提供自动化解决方案以及测试与检验方面的专业知识。”

 

Dieter Manz先生最后表示,目前电池厂家的生产解决方案都应从效率、成本、安全等因素来满足客户需求。Manz亚智科技在这方面也卓有成效。在未来两三年,Manz的策略就是要在中国建立自己的工程部门。“以前的设备开发是由德国来做,因此我们在把握本土市场和客户需求的敏锐度方面有待提高。” Dieter Manz说道,“其实在德国做开发,时间、设备、材料等很多东西在德国就已经定型了,本土化生产时,成本降低不会太多,这样就不能够适应市场未来竞争的需要。因此,我们希望未来会在中国设立自己的工程部门,让我们在最初针对客户需求而设计的时候,就已经考虑到中国生产的可能性,更大幅度地降低成本,这是我们未来的一项策略。”


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