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激光钻孔
面向光伏应用的高速晶圆钻孔
材料来源:激光世界           录入时间:2011-10-28 14:32:48

注:本文版权为《激光世界》所有,未经许可,请勿转载!

在高效率太阳能电池生产中,高速激光钻孔是一个重要的加工步骤,特别是在需要在每个单元上钻出10000多个通孔的发射极穿孔卷绕(EWT)太阳能电池的制造中。因为太阳能电池生产线上的单个加工步骤的典型持续时间为1~2秒钟,每秒10,000个通孔的钻空速度,是工业化大规模生产的最低要求。

目前市场上可获得的激光源与扫描振镜所能实现的最大钻孔速率为每秒4000孔。采用一种新的光学概念,将高性能振镜扫描振和激光束分频器的结合使用,为实现高速激光钻孔提供了一种潜在解决方案。这种方案要求激光源的平均输出功率达到几百瓦,脉冲宽度保持在微秒范围。目前已经有一些不同的系统解决方案可满足用户的不同需求。

研究表明,脉冲宽度和脉冲能量是实现高效钻孔的关键因素。通过使用两台Jenoptik Jenlas IR 70激光器,有望在200微米厚的晶圆上实现9600孔/s的钻孔速度,在180微米厚的晶圆上实现12500孔/s的钻孔速度。


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